晶圆减薄临时键合胶

详细介绍

晶圆减薄临时键合胶,基于薄晶圆 ( 通常厚度小于100μm) 的硅穿孔 (Through-Silicon Via, TSV) 技术已经实现了3D-IC 封装,由于薄晶圆具有柔性、易碎性、容易翘曲和起伏等特点,晶圆减薄临时键合胶将器件晶圆固定在载体上,并使薄晶圆在背部加工后易于从载体上剥离。开发的临时键合胶为无色液体,具有优异的流变性能、热稳定性、化学稳定性和足够的粘接强度,并且易于剥离和清洗。
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